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產(chǎn)品名稱(chēng):

BASF公司Exactus紅外測溫儀

描述:BASF公司Exactus紅外測溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測量技術(shù)相比,超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長(cháng)測量低溫的能力使得過(guò)程控制更加嚴格、精度更高、整體性能更好。
訪(fǎng)問(wèn)次數: 2282
更新時(shí)間: 2024-04-23

產(chǎn)品介紹

主要特點(diǎn)

  • 使用短波進(jìn)行低溫測量 (≥ 25 ºC)

  • 精密度高, 分辨率達 0.01 ºC , 測溫精度1.5 ºC

  • 測溫重復性 0.1 ºC , 溫漂不高于 0.1 ºC / 年

  • 測量速度達 1,000 值 / 秒

  • 數字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統

  • 可同時(shí)進(jìn)行多達8通道的數據采集

 

詳細說(shuō)明

作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先鋒, BASF已將其溫度測量技術(shù)專(zhuān)長(cháng)應用于光學(xué)溫度測量. BASF公司Exactus紅外測溫儀取得了技術(shù)性突破,在非接觸式溫度測量中提供了顯著(zhù)的性能優(yōu)勢 .

BASF公司Exactus紅外測溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測量技術(shù)相比,超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長(cháng)測量低溫的能力使得過(guò)程控制更加嚴格、精度更高、整體性能更好.

BASF的原創(chuàng )技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢. 高度敏感的電子學(xué)和*的光學(xué)技術(shù)意味著(zhù)可以用更短波長(cháng)的探測器來(lái)測量輻射能. 這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差.此外,高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監控和生產(chǎn)工藝.

典型應用

  • 硅晶生長(cháng)

  • 薄膜沉積

  • 激光/感應焊接

  • 玻璃加工

  • 工業(yè)加熱

 

技術(shù)參數

測量參數
溫度范圍:

單色測溫:
65 – 1150℃(工作波長(cháng) 0.7 - 1.6 μm)
100 – 1900℃ (工作波長(cháng) 1.55 μm)
120 – 3000℃(工作波長(cháng) 0.7 - 1.6 μm)
280 – 2200℃(工作波長(cháng) 0.9 μm)
350 – 3000℃ (工作波長(cháng) 0.9 μm)
500 – 3000℃ (工作波長(cháng) 0.65μm)
采用特殊的光學(xué)器件可測量低溫至:
200℃(工作波長(cháng) 0.90μm)
25℃(工作波長(cháng) 0.7-1.6μm)

雙色測溫:
400 – 2500℃(工作波長(cháng) 920nm/1280 nm)

測量精度:優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值
分辨率:

高達0.01℃

重復精度:0.1℃
溫度漂移:最大 0.10℃/年
環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度
測量速率:高達1000 測值/秒, 響應時(shí)間1ms
D:S標準鏡頭, 40:1
高分辨率鏡頭, 200:1
可按需訂制
物理參數
供電:12-28 VDC, 3W
存儲溫度:-20 to 70℃
環(huán)境溫度:

電子器件: 0 - 60℃
惡劣環(huán)境下應用鏡頭: 0 - 250℃
高溫光纖: 0 - 250℃

外殼材質(zhì):傳感器和鏡頭外殼,304 不銹鋼/鋁;
氣吹外殼,鋁;
惡劣環(huán)境應用鏡頭: 304 不銹鋼;
重量:標準高溫計,0.510 kg (1.125 lbs.)
光纖傳感器,0.198 kg (7 oz.)

 

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