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產(chǎn)品中心產(chǎn)品介紹
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作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先鋒, BASF已將其溫度測量技術(shù)專(zhuān)長(cháng)應用于光學(xué)溫度測量. BASF公司Exactus紅外測溫儀取得了技術(shù)性突破,在非接觸式溫度測量中提供了顯著(zhù)的性能優(yōu)勢 .
BASF公司Exactus紅外測溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測量技術(shù)相比,超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長(cháng)測量低溫的能力使得過(guò)程控制更加嚴格、精度更高、整體性能更好.
BASF的原創(chuàng )技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢. 高度敏感的電子學(xué)和*的光學(xué)技術(shù)意味著(zhù)可以用更短波長(cháng)的探測器來(lái)測量輻射能. 這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差.此外,高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監控和生產(chǎn)工藝.
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測量參數 | |
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溫度范圍: | 單色測溫: 雙色測溫: |
測量精度: | 優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值 |
分辨率: | 高達0.01℃ |
重復精度: | 0.1℃ |
溫度漂移: | 最大 0.10℃/年 環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度 |
測量速率: | 高達1000 測值/秒, 響應時(shí)間1ms |
D:S | 標準鏡頭, 40:1 高分辨率鏡頭, 200:1 可按需訂制 |
物理參數 | |
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供電: | 12-28 VDC, 3W |
存儲溫度: | -20 to 70℃ |
環(huán)境溫度: | 電子器件: 0 - 60℃ |
外殼材質(zhì): | 傳感器和鏡頭外殼,304 不銹鋼/鋁; 氣吹外殼,鋁; 惡劣環(huán)境應用鏡頭: 304 不銹鋼; |
重量: | 標準高溫計,0.510 kg (1.125 lbs.) 光纖傳感器,0.198 kg (7 oz.) |
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